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晶圓加熱板電熱片
均溫型晶圓加溫電熱片（板）
此專利加熱元件可對半導體工業中的製程需求快速反應，Heatact製造專利的均溫電熱片將溫度分佈於每個偵測點
，使加熱器能均勻導熱，並且在短時間內達到設定的溫度。
常見應用於加熱、蒸發、抽出、真空加熱、乾燥⋯等範圍。
材質：超導熱雲母電熱片
功率：依客戶需求溫度設計，每cm平方最高25w或600度C以內的溫度。
尺寸：尺寸、孔位及出線位置皆可按客戶需求訂製。
電壓：12V~480V 依客戶指定 |
